美国DUNIWAY MFC-MCE100质量控制器规格：

• 准确度：读数的0.8%（0.4%可选）+0.2%满刻度重复性（NIST可追溯）。

• 线性范围：满量程（200:1）的0.5-100%。多气体校准：预装98-130气体，加上COMPOSERTM气体成分固件。所有流量数据在一个屏幕上可见（设置点、质量流量、体积流量、压力、温度）。

• 50-100毫秒控制响应：抑制上游波动。可接近的PID阀调节，以获得最佳速度和稳定性。用一个装置控制质量流量、体积流量或压力。无预热：准备在一秒钟内控制流程。防腐施工

• 采用316L不锈钢流道和传感器，可更好地抵御腐蚀性气体引起的腐蚀。

美国DUNIWAY MFC-MCE100质量控制器，带 SEMI 标准封装，0-100 SCCM，显示器，MKS 型 DB15 连接器，0-5 V 质量流量输出，0-5 V 设定点输入控制（可选串行和本地控制），RS-232 和显示输出绝对压力、质量流量、体积流量、温度和气体选择。一次气体选择设置为 N2，具有 98 种可选气体和气体混合校准。带 1/4“ 焊接公 VCR 配件。下游阀门配置。不包括电源。

MFC-MCV100型Alicat MCV质量流量控制器，带集成截止阀，0-100 SCCM

MFC-PVPS24UMFC 电源适配器：24VDC，1 Amp

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