Shenzhen Coastal Trading Co.,Ltd.
品牌:UVOCS
型号:T16X16/OES
采购热线:0755-86216601
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原装进口美国UVOCS紫外臭氧清洗机T16X16/OES
UVOCS T16X16/OES 为实验室级紫外臭氧表面清洗设备,主要用于清除样品表面微量有机污染物,广泛应用于半导体、薄膜、光学、材料科学、MEMS 以及科研场景。 该紫外臭氧清洗设备可在常温条件下完成干式清洗,依靠紫外光与臭氧分解有机污染物,能够去除微量油脂、焊剂、光刻胶残胶、胶残留、碳污染以及其他有机物质,适合对表面洁净度有较高要求的终清洗与样品前处理工序。
紫外臭氧清洗工艺操作简便、成本适中,可在多数无机基材表面去除有机污染物,获得洁净表面;适用基材包括石英、硅、金、镍、铝、砷化镓、氧化铝等。 该工艺适合需要薄膜在基底上形成良好附着效果的场景。基材经过常规清洗之后,再采用紫外臭氧处理 1 至数分钟,即可得到洁净表面。
紫外臭氧清洗可去除微量的:
人体油脂
硅油与润滑脂
光刻胶残胶
凝聚态胶类挥发物
工艺特点
获得洁净表面
常温工艺
处理速度快,多数应用场景耗时小于 10 分钟
操作简便
设备采购成本适中,运行成本低
型号参数对比表
源自:深圳市湾边贸易有限公司,图文仅供参考。
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