垂直式Owlstone蒸汽发生器（V-OVG）

V-OVG基于Owlstone的OGV技术设计。

主要特征：

配备更大容积的垂直烤箱，可容纳最多6个标准渗透管。

采用数字式分体式流量计读数。

适用于多个渗透源。

烤箱采用顶部进料方式。

可选配RS-485连接。

美国Owlstone V-OVG标定气体发生器概述：

V-OVG采用一种垂直安装的烤箱设计，其内部腔体可容纳多个物理尺寸较大或非标准规格的渗透装置。

Owlstone气体发生器用于生成具有NIST可追溯性的校准气体标准，浓度可设定。

V-OVG作为校准气体传感器的平台，基于渗透管技术，可替代多个气体钢瓶。

V-OVG的烤箱容积为OVG-4型号的16倍，可容纳来自多个或非标准几何形状渗透源的气体标准。

设备配备带有数字读数的分流流量计，以及可选配的RS-485通信模块，用于计算机控制。

烤箱与兼容性：

垂直烤箱最多可容纳6根渗透管。

支持晶圆装置/扩散管。

可对渗透炉温度、样品流和不分流流进行数字控制。

通道扩展：

可添加平行通道。

与OVG-4的主要差异：

垂直烤箱，兼容扩散管。

大口径烤箱，同时容纳最多6个渗透管。

数字控制分配流和样品流。

本文仅作产品功能介绍，具体规格请以官方最新信息为准。产品如有变更，恕不另行通知。图文仅供参考。